JOIN-SOLUTION — Global Total Equipment & Automation Platform

VACUUM COMPONENT
핵심 파트 점검·리빌드

The intergrated e-Business platform for any industry

Component Re-Build Business

㈜조인솔루션이 축적된 KNOW-HOW 로 제공하는 신속·정확한 점검 서비스

축적된 KNOW-HOW 기반의
핵심 파트 리빌드 솔루션

㈜조인솔루션은 당사의 축적된 KNOW-HOW 를 통하여 신속하고 정확한 점검서비스를 언제 어디서나 고객들에게 제공하고 있습니다.

Cryopump · Compressor 등 진공 핵심 파트의 분해·세정·점검·재조립 전 과정을 자체 인프라로 수행하며, 모든 작업은 엔지니어 실명제 태그로 책임 관리됩니다.

FEATURES

Cryopump · Compressor 두 카테고리 리빌드 전문성

CRYOPUMP RE-BUILD BUSINESS
  • Cryopump 내 필수 파트의 세정, Baking 및 점검
COMPRESSOR RE-BUILD BUSINESS
  • Adsorber 등의 Compressor 내부 파트 점검 및 교환
  • 순도 99.999% 의 고순도 Helium Charge
  • 24시간 이상의 Running Test
  • 모든 Electro Test 점검
  • 점검 태그를 통한 엔지니어 실명제

RE-BUILD PROCESS

본사의 RE-BUILD PROCESS 는 다음과 같습니다.

Pump In
Storage
Disassemble
Cleaning
Baking
Out
Assemble
Final
Test
CRYOPUMP RE-BUILD PROCESS
Comp In
Storage
First
Inspection
Overhaul
Leak
Check
Matching
Test
Store-out
COMPRESSOR RE-BUILD PROCESS

Core Vacuum Equipment Line-up

반도체 · 디스플레이 공정용 핵심 진공 장비 라인업.

CRYO PUMPIMAGE

CRYO PUMP

  • Ultra-High Vacuum (UHV) generation
  • Cryogenic condensation & adsorption
  • 100% Oil-Free clean vacuum
  • Ideal for Semiconductor & Display
TURBO PUMPIMAGE

TURBO PUMP

  • Magnetic levitation bearing
  • Frictionless & low maintenance
  • Ultra-low vibration & 360° mounting
  • Highly reliable global standard
DRY PUMPIMAGE

DRY PUMP

  • Reliable backing & roughing pump
  • Eco-friendly oil-free operation
  • Stable in harsh process conditions
  • Outstanding durability & lifespan
COMPRESSORIMAGE

COMPRESSOR

  • Helium compressor for cold heads
  • Stable gas supply for cryogenics
  • Excellent system compatibility
  • Optimized for continuous operation

자체 생산 장비 라인업 — COREVAC Series

최상의 품질과 성능을 보장하는 기술력.

COREVAC Series

㈜조인솔루션은 독자적인 기술력으로 완성한 자체 브랜드, COREVAC Series를 공급하고 있습니다. 고성능 Coldhead 탑재로 우수한 처리 능력을 갖추었으며, Variable RPM 모터 기술을 통해 진동을 획기적으로 줄여 더욱 안정적인 공정 환경을 지원합니다.

COREVAC 200 시리즈부터 550 시리즈까지 고객의 다양한 공정 조건에 맞춘 수평(H) 및 수직(V) 타입의 완벽한 펌프 라인업을 제공합니다.

  • 강력하고 안정적인 Coldhead 탑재
  • Variable RPM 모터 — 진동 최소화
COREVAC 400HSIMAGE
H-TypeIMAGE
V-TypeIMAGE

COREVAC CRYOGENICS — Line-up 사양

Gas Pumping Speed (l/sec) 기준 모델별 사양. H-Type(수평) / V-Type(수직) 제공.

MODEL N₂ Ar H₂ Cool-down (min) Weight
COREVAC 200V1,7001,5002,50060 / 6020 kg
COREVAC 250V2,5002,1003,400120 / 12028 kg
COREVAC 300V4,0003,5006,00080 / 8038 kg
COREVAC 400V5,2004,50010,000100 / 10056 kg
COREVAC 500V10,5009,00018,000120 / 12075 kg
COREVAC 550V18,00015,00025,000130 / 130110 kg

Ultimate pressure 10⁻⁷ (10⁻⁹) Pa(Torr) · Flange Options : ISO, ANSI, JIS, CF · Compressor unit : MC201 · Pump Type : Horizontal(H), Vertical(V) · H-Series : 200H / 250H / 300H / 400H / 500H / 550H

전문 오버홀 (Overhaul) 점검 설비

수리 완료 후 완벽한 성능과 진공 상태를 보증하는 전문 검증 설비를 보유하고 있습니다.

성능 테스트 랙IMAGE

성능 테스트 랙

터보 펌프 및 크라이오 펌프 구동과 정밀한 데이터 로깅을 통해 수리 완료 후의 완벽한 성능을 철저히 검증합니다.

진공 건조 오븐IMAGE

진공 건조 오븐

부품 내부에 남아있는 미세 수분과 불순물을 고온 진공 상태에서 완벽히 제거하는 필수 베이킹 공정을 수행합니다.

헬륨 누설 탐지기IMAGE

헬륨 누설 탐지기

오버홀 조립 후 장비의 극미세한 진공 누설(Leak)까지 정밀하게 잡아내어 최상의 진공 상태를 보증합니다.

Service Products (Overhaul)

글로벌 메이커 터보 펌프 · 크라이오 펌프의 정기 점검 및 오버홀 서비스를 제공합니다.

Turbo Pump

TURBO PUMP

  • EDWARD (SEIKO SEIKI) TURBO PUMP
EDWARDS
SEIKO SEIKI
Cryo Pump

CRYO PUMP

  • CTI Cryopump & Compressor
  • (On-Board Series)
  • (OBIS-8F, 250F, 320F)
  • Ulvac Cryopump Series
HELIX
ULVAC
Delivery 전 모델 통상 2주 ~ 3주 이내 Periodic Inspection Service and Repair