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㈜조인솔루션이 축적된 KNOW-HOW 로 제공하는 신속·정확한 점검 서비스
㈜조인솔루션은 당사의 축적된 KNOW-HOW 를 통하여 신속하고 정확한 점검서비스를 언제 어디서나 고객들에게 제공하고 있습니다.
Cryopump · Compressor 등 진공 핵심 파트의 분해·세정·점검·재조립 전 과정을 자체 인프라로 수행하며, 모든 작업은 엔지니어 실명제 태그로 책임 관리됩니다.
Cryopump · Compressor 두 카테고리 리빌드 전문성
본사의 RE-BUILD PROCESS 는 다음과 같습니다.
반도체 · 디스플레이 공정용 핵심 진공 장비 라인업.
최상의 품질과 성능을 보장하는 기술력.
㈜조인솔루션은 독자적인 기술력으로 완성한 자체 브랜드, COREVAC Series를 공급하고 있습니다. 고성능 Coldhead 탑재로 우수한 처리 능력을 갖추었으며, Variable RPM 모터 기술을 통해 진동을 획기적으로 줄여 더욱 안정적인 공정 환경을 지원합니다.
COREVAC 200 시리즈부터 550 시리즈까지 고객의 다양한 공정 조건에 맞춘 수평(H) 및 수직(V) 타입의 완벽한 펌프 라인업을 제공합니다.
Gas Pumping Speed (l/sec) 기준 모델별 사양. H-Type(수평) / V-Type(수직) 제공.
| MODEL | N₂ | Ar | H₂ | Cool-down (min) | Weight |
|---|---|---|---|---|---|
| COREVAC 200V | 1,700 | 1,500 | 2,500 | 60 / 60 | 20 kg |
| COREVAC 250V | 2,500 | 2,100 | 3,400 | 120 / 120 | 28 kg |
| COREVAC 300V | 4,000 | 3,500 | 6,000 | 80 / 80 | 38 kg |
| COREVAC 400V | 5,200 | 4,500 | 10,000 | 100 / 100 | 56 kg |
| COREVAC 500V | 10,500 | 9,000 | 18,000 | 120 / 120 | 75 kg |
| COREVAC 550V | 18,000 | 15,000 | 25,000 | 130 / 130 | 110 kg |
Ultimate pressure 10⁻⁷ (10⁻⁹) Pa(Torr) · Flange Options : ISO, ANSI, JIS, CF · Compressor unit : MC201 · Pump Type : Horizontal(H), Vertical(V) · H-Series : 200H / 250H / 300H / 400H / 500H / 550H
수리 완료 후 완벽한 성능과 진공 상태를 보증하는 전문 검증 설비를 보유하고 있습니다.
터보 펌프 및 크라이오 펌프 구동과 정밀한 데이터 로깅을 통해 수리 완료 후의 완벽한 성능을 철저히 검증합니다.
부품 내부에 남아있는 미세 수분과 불순물을 고온 진공 상태에서 완벽히 제거하는 필수 베이킹 공정을 수행합니다.
오버홀 조립 후 장비의 극미세한 진공 누설(Leak)까지 정밀하게 잡아내어 최상의 진공 상태를 보증합니다.
글로벌 메이커 터보 펌프 · 크라이오 펌프의 정기 점검 및 오버홀 서비스를 제공합니다.
